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雜質沾污對電熱器件性能影響

2014-3-5   來源:   瀏覽:4441

  提起(qi)雜質(zhi),人們就會(hui)覺(jue)著(zhu)是(shi)臟的(de)(de)(de)(de),不(bu)好的(de)(de)(de)(de)、有害的(de)(de)(de)(de)東西,其實(shi)不(bu)同(tong)的(de)(de)(de)(de)雜質(zhi)有不(bu)同(tong)的(de)(de)(de)(de)用(yong)途,在不(bu)同(tong)的(de)(de)(de)(de)地方產生不(bu)同(tong)的(de)(de)(de)(de)影響。雜質(zhi)的(de)(de)(de)(de)定義(yi)是(shi)指(zhi)物(wu)體(ti)中(zhong)含有非奔物(wu)質(zhi)的(de)(de)(de)(de)其他物(wu)質(zhi)為該物(wu)體(ti)中(zhong)的(de)(de)(de)(de)雜質(zhi)。


  電伴熱晶體管和(he)集成電路的(de)(de)(de)(de)(de)制造,使(shi)用的(de)(de)(de)(de)(de)是含有(you)雜(za)(za)質的(de)(de)(de)(de)(de)半(ban)導體材(cai)料。對于(yu)這種材(cai)料,其導電性(xing)能(neng)往(wang)往(wang)不(bu)只是決(jue)定于(yu)本征激(ji)發所(suo)(suo)產生的(de)(de)(de)(de)(de)載流子(zi),而是決(jue)定于(yu)材(cai)料中所(suo)(suo)含有(you)的(de)(de)(de)(de)(de)雜(za)(za)質,即決(jue)定于(yu)雜(za)(za)質的(de)(de)(de)(de)(de)性(xing)質和(he)含量多少。器(qi)件(jian)生產過程中,要遇到各種雜(za)(za)質,其中有(you)些雜(za)(za)質對器(qi)件(jian)制造有(you)很大的(de)(de)(de)(de)(de)好處(指有(you)目的(de)(de)(de)(de)(de)的(de)(de)(de)(de)(de)雜(za)(za)質摻入),.有(you)些雜(za)(za)質對器(qi)件(jian)制造帶來嚴重的(de)(de)(de)(de)(de)危害(hai)(例如重金屬離子(zi)、鈉離子(zi)、油污、灰塵等),這些雜(za)(za)質對半(ban)導體材(cai)料制備和(he)器(qi)件(jian)的(de)(de)(de)(de)(de)生產有(you)嚴重的(de)(de)(de)(de)(de)破壞性(xing),影響著材(cai)料的(de)(de)(de)(de)(de)純度、晶體結構的(de)(de)(de)(de)(de)完(wan)整性(xing)、器(qi)件(jian)的(de)(de)(de)(de)(de)性(xing)能(neng)和(he)成品(pin)率。


  在(zai)半導(dao)(dao)體(ti)材料(liao)制(zhi)備(bei)或(huo)器件生產的(de)(de)(de)不同工(gong)序中(zhong)(zhong),同一種(zhong)雜質(zhi)(zhi)(zhi)的(de)(de)(de)作用也(ye)不一樣。例如,翻和(he)礴這(zhe)兩(liang)種(zhong)元(yuan)素,各有(you)(you)(you)不同性質(zhi)(zhi)(zhi)和(he)作用,制(zhi)造(zao)n型(xing)半導(dao)(dao)體(ti)時,磷是(shi)重(zhong)要的(de)(de)(de)摻雜雜質(zhi)(zhi)(zhi),硼則(ze)(ze)成為有(you)(you)(you)害(hai)雜質(zhi)(zhi)(zhi),在(zai)制(zhi)造(zao)P型(xing)半導(dao)(dao)體(ti)時,翻是(shi)重(zhong)要的(de)(de)(de)摻雜雜質(zhi)(zhi)(zhi),磷則(ze)(ze)成為有(you)(you)(you)害(hai)雜質(zhi)(zhi)(zhi)。在(zai)3DK晶(jing)體(ti)管(guan)(guan)生產中(zhong)(zhong),有(you)(you)(you)金(jin)擴(kuo)散工(gong)序,金(jin)元(yuan)六是(shi)摻雜的(de)(de)(de)有(you)(you)(you)用雜質(zhi)(zhi)(zhi),但在(zai)其他(ta)晶(jing)體(ti)管(guan)(guan)和(he)集成電路的(de)(de)(de)生產中(zhong)(zhong),則(ze)(ze)要采取(qu)一切措(cuo)施,避免金(jin)的(de)(de)(de)沾污(wu)。因此,某一種(zhong)雜質(zhi)(zhi)(zhi)是(shi)有(you)(you)(you)益的(de)(de)(de)或(huo)是(shi)有(you)(you)(you)害(hai)的(de)(de)(de),要按半導(dao)(dao)體(ti)材料(liao)制(zhi)備(bei)和(he)器件的(de)(de)(de)生產需要確(que)定。

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